真空泵滑片尺寸如下：（以下數據誤差在0.03至0.1MM內）

XD-28真空泵，長226MM，寬58.4MM，厚12MM。

XD-65真空泵，長246MM，寬66.5MM，厚14MM。

XD-80真空泵，長296MM,寬67MM,厚10MM。

XD-100真空泵，長316MM,寬75MM,厚10MM。